物理和化學(xué)性質(zhì)：電子氣體（Electronicgases）：氣體工業(yè)術(shù)語(yǔ)，半導(dǎo)體工業(yè)中使用的氣體統(tǒng)稱(chēng)為電子氣體。按其類(lèi)別可分為三類(lèi)：純氣體，高純氣體和半導(dǎo)體特殊材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝，高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。電子氣體是特種氣體的重要分支。根據(jù)純度等級(jí)和使用場(chǎng)合，電子氣可以分為電子級(jí)，LSI（大型集成電路）級(jí)，VLSI（超大規(guī)模集成電路）級(jí)和ULSI（超大規(guī)模集成電路）級(jí)。