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高純氫中微量烴污染的分析與測定方法
* 來源: * 作者: * 發表時間: 2020-02-21 21:13:33 * 瀏覽: 140
高純氫氣廣泛用于電子行業,石化行業,金屬冶煉,國防前沿和科研部門。它也可用作制備標準氣體的原料氣和色譜法的載氣。隨著科學技術,科學實驗和工業產品的快速發展,特別是超大型集成電路,光電產品等一些高科技產品,需要嚴格控制氫的純度和雜質含量。 ,并要求在有色金屬,硅鋼,帶鋼,精密合金和浮法玻璃的冶煉和加工中將O2,H2O,HTC烴,CO,CO2和其他雜質提純至10-9-10-12要求使用純度約為99.999%的氫氣,在天然氣工業中,純氫氣用于氣體分析和精煉。目前,工業化生產的大部分工業氫氣都應進行化學處理以滿足各種行業的需求。氫的純化方法主要包括化學吸收法,催化反應法,選擇性吸附法和膜分離法。測定總烴的方法和原理。在氣相色譜分析和檢測過程中,氣相色譜儀對所用氣體的純度有更高的要求。儀器本身需要氣體純度,否則,使用不符合要求的低純度氣體會造成一系列不利影響。另外,在硅外延工程時代,氫與四氯化硅或三氯氫硅在加熱的硅基板的表面上反應,并且還原的硅沉積在硅基板上以形成外延層。上述方法對氫的純度有很高的要求。如果碳氫化合物含量過高,則會形成碳化硅,從而在外延層中引起星形缺陷。因此,應該將高純度氫中所含的總烴作為監測目標。中國國家標準推薦的測定氣體中總烴的方法是叉車火焰電離法,目前大多數實驗室都在使用該方法。該方法的工作原理:樣品進入電離室后,在氫火焰的高溫下被電離產生陽離子。由于離子數量與被測組分的含量成正比,因此可以通過工作站(或記錄儀)確定并記錄其含量。相應組分的色譜峰。火焰電離檢測器上總烴的響應信號是多種烴信號的總和。到目前為止,除了食品級二氧化碳的國家標準外,總碳氫化合物也算作甲烷,其他氣體中的總碳氫化合物也沒有統一的基準。此處,甲烷也用作參考物質,分析結果以甲烷為單位進行測量。氫是易燃的壓縮氣體。存放在陰涼通風的倉庫中。倉庫中的溫度不應超過30°C。遠離火源和熱源。避免陽光直射。應與氧氣,壓縮空氣,鹵素(氟,氯,溴),氧化劑等分開存放。切勿混儲和運輸。儲藏室的照明,通風和其他設施應防爆。交換機位于倉庫外部,并配備有相應數量和數量的消防設備。禁止使用火花機械設備。檢查時請注意產品名稱,注意檢查日期,并先使用高級倉庫。運輸過程中要輕裝輕卸,以免損壞氣缸和附件。
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