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遼寧天然氣高純氮化學(xué)氣相沉積用載氣

* 來源: * 作者: * 發(fā)表時間: 2020/09/28 1:09:29 * 瀏覽: 17

遼寧天然氣高純氮氣概要概述，性能，功能及用途：純度大于99.999％。無色，無味，無味，無毒惰性氣體。相對密度ds（21.1℃，空氣= 1）為0.967。氣體密度為1.153kg / m3（21.1℃，101.3kPa），液體密度為808.5kg / m3（-195.8℃，101.3kPa）。沸點為-195.8℃。熔點為-209.9℃。氮純化方法主要包括吸附，變壓吸附和膜分離。在集成電路，半導(dǎo)體和電子真空設(shè)備的制造中用作保護氣體和載氣，化學(xué)氣相沉積過程中的載氣，液體擴散源的載氣以及高溫擴散爐中設(shè)備的保護氣。高純度氮氣在外延，光刻，清潔和蒸發(fā)等過程中用作置換，干燥，存儲和運輸?shù)臍怏w。在顯像管的制造中，要求氮氣的純度為99.99％以上。在航空航天技術(shù)中，液態(tài)氫填充系統(tǒng)必須先用高純度氮氣代替，然后再用高純度氦氣代替。目前，純氮主要用于油田注氮，石油化工，合成纖維，合成氨，浮法玻璃，軋鋼和電子工業(yè)等領(lǐng)域。油田注氮設(shè)備擁有最大的制氮規(guī)模。國外最大的是310,000 Nm3 / h。氮氣產(chǎn)品的純度要求氧氣含量低于10ppm，產(chǎn)??品壓力通常為300-400bar。允許暫時中斷生產(chǎn)過程，并需要少量的液氮。石油化工，合成纖維，合成氨，浮法玻璃，軋鋼等制氮設(shè)備的儲備規(guī)模通常在數(shù)千至數(shù)萬之間。產(chǎn)品純度要求包含2∽100ppm的氧氣，產(chǎn)品壓力通常為1.35∽31bar。一些設(shè)備需要備用的液氮，并且需要不間斷的產(chǎn)品供應(yīng)。電子行業(yè)制氮設(shè)備的規(guī)模很小，一般在幾百到幾千之間，但是產(chǎn)品的純度最高，通常氧含量小于1ppm，產(chǎn)??品中的CO和H2含量都比較高。產(chǎn)品的壓力為3∽10bar，這需要不間斷的產(chǎn)品供應(yīng)和備用的液氮。經(jīng)過數(shù)十年的蓬勃發(fā)展，制氮業(yè)在規(guī)模和產(chǎn)品要求方面已達到更高的水平。對于不同規(guī)格的產(chǎn)品，目前已經(jīng)開發(fā)了適合于它們的國內(nèi)外氮氣生產(chǎn)工藝。當產(chǎn)品氮氣在5至8 bar之間時，有兩種選擇：第一種選擇：回流膨脹工藝，加壓產(chǎn)品氮氣或膨脹機增壓端的正向空氣。第二種解決方案：正向流動膨脹過程，產(chǎn)物氮氣或正向流動空氣在膨脹機的增壓器端被加壓，產(chǎn)物被氮氣壓縮機壓縮。當壓力較高時，此過程具有很大的優(yōu)勢。遼寧燃氣

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