是SF6設(shè)備產(chǎn)生毒害物質(zhì)的一個(gè)條件。如果SF6氣體中含有超過(guò)規(guī)定的水分，當(dāng)其濕度發(fā)生變化時(shí)，就可能凝結(jié)在固體絕緣表面使該面變潮，這時(shí)設(shè)備的沿面放電電壓將顯著下降。SF6.氣體在電弧和電暈作用下分解生成的低氟化合物氣體，假如沒(méi)有水分子這個(gè)外部條件是不會(huì)生成SO2、HF及其它有害物質(zhì)的，從而也就可以避免由它們產(chǎn)生的設(shè)備腐蝕。所以，SF6.設(shè)備在充裝氣體時(shí)，必須嚴(yán)密措施防止水份進(jìn)入。

　　（1）工作未開(kāi)始之前，首先應(yīng)測(cè)定現(xiàn)場(chǎng)周圍環(huán)境空氣相對(duì)濕度≤80％（即空氣中水蒸汽密度和同溫度下飽和水蒸汽密度比的百分值），這是限制空氣含水具體示數(shù)。測(cè)定如不合格，則應(yīng)采取措施或重選干燥晴朗的天氣進(jìn)行充裝。

　　（2）為使SF6泄漏氣體及時(shí)排換，主尖在進(jìn)行充裝的同時(shí)開(kāi)啟通風(fēng)機(jī)，認(rèn)真遵守空氣SF6含量不得超過(guò)1000ppm的規(guī)定。在工作開(kāi)始后的一定時(shí)間內(nèi)即應(yīng)進(jìn)行檢測(cè)，并具體情況于中途再進(jìn)行檢側(cè)。當(dāng)出現(xiàn)SF6.氣體含量增高或超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)隨即對(duì)部件進(jìn)行詳細(xì)檢查，查找原因并予以消除。