近年來，甚至在未來，光電子，光伏太陽能和集成電路等新材料技術(shù)領(lǐng)域也將迅速發(fā)展。這些技術(shù)的發(fā)展將對高純度氣體和混合氣體有巨大的需求。如果沒有高質(zhì)量的超純和超凈，Gas保證您將無法談?wù)撊魏问虑椤Ｓ捎谠S多超純電子氣體具有易燃，易爆，有毒和有害等化學(xué)特性，為易于使用，因此它們在半導(dǎo)體制造過程中幾乎全部被稀釋。按一定比例稀釋的氣體稱為“電子混合氣體”。電子混合氣體在計(jì)量方面與標(biāo)準(zhǔn)氣體具有許多相似的特性，但存在許多差異。除了確保電子混合氣體的濃度的高精度外，氣體還必須具有優(yōu)異的質(zhì)量。換句話說，電子混合氣體必須確保混合氣體中所含的有害雜質(zhì)不超過一定值。對于8英寸（200毫米）以上的集成電路生產(chǎn)線，還應(yīng)控制和設(shè)置混合氣體中包含的顆粒物。發(fā)達(dá)國家對電子級高純氣體和電子混合氣有一定的標(biāo)準(zhǔn)，但中國在該領(lǐng)域仍然空白，因此國內(nèi)對電子混合氣的市場需求在“質(zhì)量”和“數(shù)量”方面都很高。有必要討論電子混合氣的制備及其他相關(guān)技術(shù)。盡管清洗后的氣瓶內(nèi)表面光滑，但顆粒，露點(diǎn)和氧含量均符合要求，也就是說，氣瓶不會對所含氣體造成污染，但對于低含量的電子混合氣體（例如SiH450× 10-6-H2，PH3（1000±30）×10-6-H2，BCl3（1±0.03）％-N2型化學(xué)混合物，還需要對成分的穩(wěn)定性進(jìn)行一系列研究，否則很容易產(chǎn)生內(nèi)表面“吸附”會導(dǎo)致成分含量降低，甚至完全“被吞噬”，每種成分使用的內(nèi)標(biāo)處理方法不同。電子高純氣體的填充壓力是用戶和供應(yīng)商非常關(guān)心的問題。發(fā)達(dá)國家有明確的規(guī)定。氣瓶中氣體的壓力（在一定溫度下），明確規(guī)定了混合氣體的體積，例如日本PH30.8％-He混合氣體的“充裝壓力（35℃）：14.7 MPa，充裝容積：7.0m3（35°C）”，目前中國混合氣的充裝壓力基本上由供需雙方協(xié)商確定，即使供氣商達(dá)到國際標(biāo)準(zhǔn)壓力，但我們的氣瓶仍在工作壓力3.原始?xì)怏w的壓力很難達(dá)到。目前，也許是由于瓶裝工業(yè)氣體的價(jià)格低廉，北部和其他地區(qū)的瓶裝高純氮?dú)鈮毫H為11.0MPa。由于市場競爭，甚至有些外國公司也盲目地降低了加氣壓力。這種惡性循環(huán)導(dǎo)致了中國的瓦解。市場形勢變得越來越混亂，政府部門的無所作為使這種行為惡化了。因此，如何實(shí)現(xiàn)國際標(biāo)準(zhǔn)或準(zhǔn)則的有效整合是政府應(yīng)解決的主要問題。所有這些的出發(fā)點(diǎn)是制定和修訂我國氣瓶工作壓力的國家標(biāo)準(zhǔn)。南京高純煤氣