熏蒸氣體（SterilizingGases）：具有殺菌作用的氣體稱為熏蒸氣體。常用的氣體類型為環氧乙烷，磷烷，溴甲烷，溴甲醛，環氧丙烷等。滅菌的原理是使用烷基化作用使微生物組織中不可缺少的物質惰性化。以不同比例制備的最常用的環氧乙烷和二氧化碳的混合物，根據不同的用途，環氧乙烷的含量可以為10％，20％和30％。也可以使用環氧乙烷和氟利昂12的混合物，環氧乙烷和氟利昂11和氟利昂12的混合物等。殺菌效果與每種成分的濃度，溫度，濕度，時間和壓力有關。熏蒸氣體可用于衛生材料，醫療器械，化妝品原料，動物飼料，食品，鈔票和辛辣食品。