沉陽液態氣體六氟化硫氣體是由兩位法國化學家Moissan和Lebeau于1900年合成的一種惰性氣體。美國軍方在1940年左右將其用于曼哈頓計劃（核軍方）。1947年商業化。公認無毒。 SF6在生產過程中會產生少量伴隨產品，其中S2F10被認為是劇毒氣體，但在純化處理后可以完全去除。盡管純SF6氣體是無毒的，但必須防止工作場所中SF6氣體的濃度升高到缺氧水平。 SF6氣體的密度約為空氣的五倍。如果SF6氣體泄漏，它將沉積在低處，例如電纜溝。如果濃度過高，則有窒息的危險，在設計室內通風設備時應考慮這種情況。 SF6氣體可以通過對流與空氣混合，但是速度非常慢。氣體混合后，將形成SF6和空氣的混合氣體，不會再次分離。嚴重的問題是，在電弧作用??下，SF6，SF2，SF2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等SF6的分解產物具有很強的腐蝕性和毒性。目前，SF6氣體主要用于電力行業。 SF6氣體用于SF6斷路器和GIS（此處指六氟化硫密閉組合電器，在國際上稱為“氣體絕緣開關設備”）4種類型的電氣設備的絕緣和/或滅弧），SF6負荷開關設備， SF6絕緣傳輸線，SF6變壓器和SF6絕緣變電站。 80％用于高壓和中壓電力設備。